粒子计数器的校正方法和基本步骤

校正的基本步骤：

现假设对一台常见的Royco HH200作校正

1、首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差别，其测试原理一样，但Royco 323流速为1CFM（立方英尺/分钟），而Royco HH200则为0.1CFM。

2、将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开Royco 323和Royco HH200，让其预热半小时。

3、准备好255的取样器管，并搭接好其所有气体管路。

4、将配好的标准液（如0.301um）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。

5、设置Royco323和Royco HH200的基本参数

（1）取样时间都设置为00：01：00

（2）取样次数都设置03

（3）取样模式都设置为Auto

（4）间隔时间都设置为00：00：05

（5）读数模式都设置为Cumulative

注：以上设置相同，因其流速有10倍差，故Royco323测试结果会是Royco HH200的10倍。

6、打开255电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约60SCFH时后，保持其工作状态。

7、让Royco 323和Royco HH200同时工作，看其三次的平均结果，若在20%以内，视为合格。

8、拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。

9、以上校正只是对比校正，尚*用万用表对其基本参数测量，用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。