气体尘埃粒子计数器的校正程序

一．     校正所需设备

1．          100级洁净房或洁净台

2．          一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器，如Royco323

3．          各粒径的标准粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4．          标准粒子气体产生器，如Model 255

5．          *产生脱离水（DI水）的纯水系统或类似装置

6．          其它普通电器，如220V电源插座，万用表等等

二．     校正的基本原理

   气体尘埃粒子计数器的校正程序

   标准粒子（如0.301um）通过255粒子产生器由液状雾化成气体，并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路，这时，将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试，并比校0.3um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内，认为合格。如果不同型号的粒子计数器，一*要弄清楚其流速，取样时间，取样次数等参数，并且，还要明白怎样理解其测试结果。

三. 校正的基本步骤：气体尘埃粒子计数器的校正程序

    现假设对一台常见的Royco HH200作校正

1．          首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差别，其测试原理一样，但Royco 323流速为1CFM（立方英尺/分钟），而Royco HH200则为0.1CFM。

2．          首先，请将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开Royco 323和Royco HH200，让其预热半小时。

3．          准备好255的取样器管，并搭接好其所有气体管路。

4．          将配好的标准液（如0.301um）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。

5．          设置Royco323和Royco HH200的基本参数

（1） 取样时间都设置为00：01：00

（2） 取样次数都设置03

（3） 取样模式都设置为Auto

（4） 间隔时间都设置为00：00：05

（5） 读数模式都设置为Cumulative

 注：以上设置相同，因其流速有10倍差，故Royco323测试结果会是Royco HH200的10倍。

6．          此时，打开255电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约60SCFH时后，保持其工作状态。

7．          此时，让Royco 323和Royco HH200同时工作，看其三次的平均结果，若在20%以内，视为合格。

气体尘埃粒子计数器的校正程序